Расширение производства карбида кремния приводит к быстрому развитию специального оборудования
Jul 28,2022
Кремниевые карбидные силовые устройства ускоряют проникновение в автомобильных и других областях применения, демонстрируя огромное рыночное пространство и привлекает различных производителей для увеличения расширения производства. После того, как первая 8-дюймовая линия Wolfspeed была введена в производство, Bosch Group, Rohm, Infineon, Toshiba Недавно также было объявлено о расширении и новом строительстве производственных линий карбида кремния.
По сравнению с традиционными производственными линиями кремниевых пластин, процесс производства карбида кремния приносит различные требования к оборудованию.
Джузеппе Арена, директор по проекту автомобильных силовых устройств Stmicroelectronics, сказал, что благодаря уникальным физическим и химическим свойствам материалов с широкополосными материалами процесс производства карбидов кремния сильно отличается от традиционных силовых силовых устройств, основанных на эпитаксиальном росте, ионо имплантата и высокотемпературное отжиг. Такие модули, как специальные камеры, предназначены для контроля дефектов и повышения производительности. Специальные инструменты также требуются в травлении, истончении и других ссылках.
По мере развития процесса и оборудования некоторые компании IDM рассматривают возможность превращения устаревшей 6-дюймовой производственной линии кремниевой пластины в линию производства карбида кремния. По оценкам отраслевых экспертов, для корректировки процесса и приобрести небольшой объем специального оборудования требуется всего 20 миллионов долларов США. Этот вид преобразования производственной линии может быть завершен.
В настоящее время в этой области началось отделение труда и специализации, и такие компании, как X-Fab, уже ступили в кремниевый фондовый бизнес.
CLAS-SIC, расположенный в Шотландии, Великобритания, управляет 6-дюймовой линейкой производства карбида кремния. 10-15% производственной линии представляет собой специальное оборудование из карбида кремния, а большая часть оставшегося оборудования отремонтирована из производственных линий кремния. Компания несет ответственность, по словам Рей Хиндмана, индустрия карбида кремния также сталкивается с узкими местами доставки при покупке подержанного оборудования.
Рынок карбида кремния является многообещающим, и он также привлекает производителей оборудования для увеличения инвестиций в эту область. Дэвид Хейнс, технический эксперт в Фанлин, сказал, что общая проблема, с которой сталкивается оборудование, разработанное для кремниевых пластин, при обработке субстратов карбида кремния является последним. Почти прозрачный в видимых и близких инфракрасных областях, модуль обнаружения необходимо оптимизировать.
Другой гигант оборудования, прикладные материалы, также выпустил ряд специального кремниевого карбида. По словам Салли Энн Генри, директора по развитию бизнеса Shengmei, его оборудование CMP, предназначенное для специальных физических и химических свойств карбида кремния. Сказал, что нынешний рынок специального оборудования кремниевого карбида все еще находится на ранней стадии разработки, и большинство IDM все еще работают 6-дюймовыми производственными линиями. (Мостовые инструменты) будет очень привлекательным. Такое оборудование может быть введено в 6-дюймовой производственной линии в первую очередь. Поскольку он оснащен наиболее продвинутым модулем обнаружения, он может быстро адаптироваться к будущей 8-дюймовой производственной линии после замены модулей приспособления, загрузки и разгрузки. Проволока.
По сравнению с традиционными производственными линиями кремниевых пластин, процесс производства карбида кремния приносит различные требования к оборудованию.
Джузеппе Арена, директор по проекту автомобильных силовых устройств Stmicroelectronics, сказал, что благодаря уникальным физическим и химическим свойствам материалов с широкополосными материалами процесс производства карбидов кремния сильно отличается от традиционных силовых силовых устройств, основанных на эпитаксиальном росте, ионо имплантата и высокотемпературное отжиг. Такие модули, как специальные камеры, предназначены для контроля дефектов и повышения производительности. Специальные инструменты также требуются в травлении, истончении и других ссылках.
По мере развития процесса и оборудования некоторые компании IDM рассматривают возможность превращения устаревшей 6-дюймовой производственной линии кремниевой пластины в линию производства карбида кремния. По оценкам отраслевых экспертов, для корректировки процесса и приобрести небольшой объем специального оборудования требуется всего 20 миллионов долларов США. Этот вид преобразования производственной линии может быть завершен.
В настоящее время в этой области началось отделение труда и специализации, и такие компании, как X-Fab, уже ступили в кремниевый фондовый бизнес.
CLAS-SIC, расположенный в Шотландии, Великобритания, управляет 6-дюймовой линейкой производства карбида кремния. 10-15% производственной линии представляет собой специальное оборудование из карбида кремния, а большая часть оставшегося оборудования отремонтирована из производственных линий кремния. Компания несет ответственность, по словам Рей Хиндмана, индустрия карбида кремния также сталкивается с узкими местами доставки при покупке подержанного оборудования.
Рынок карбида кремния является многообещающим, и он также привлекает производителей оборудования для увеличения инвестиций в эту область. Дэвид Хейнс, технический эксперт в Фанлин, сказал, что общая проблема, с которой сталкивается оборудование, разработанное для кремниевых пластин, при обработке субстратов карбида кремния является последним. Почти прозрачный в видимых и близких инфракрасных областях, модуль обнаружения необходимо оптимизировать.
Другой гигант оборудования, прикладные материалы, также выпустил ряд специального кремниевого карбида. По словам Салли Энн Генри, директора по развитию бизнеса Shengmei, его оборудование CMP, предназначенное для специальных физических и химических свойств карбида кремния. Сказал, что нынешний рынок специального оборудования кремниевого карбида все еще находится на ранней стадии разработки, и большинство IDM все еще работают 6-дюймовыми производственными линиями. (Мостовые инструменты) будет очень привлекательным. Такое оборудование может быть введено в 6-дюймовой производственной линии в первую очередь. Поскольку он оснащен наиболее продвинутым модулем обнаружения, он может быстро адаптироваться к будущей 8-дюймовой производственной линии после замены модулей приспособления, загрузки и разгрузки. Проволока.