SK Hynix сотрудничает с TEMC для разработки первой технологии Neon Recovery в полупроводнике.
Apr 02,2024
SK Hynix объявил 1 апреля, что он сотрудничает с южнокорейской специализированной газовой компанией TEMC для разработки первой технологии восстановления неоновых газов в полупроводниковой промышленности.Это достижение было достигнуто более чем через год после начала разработки технологии восстановления с помощью TEMC.
Неоновый газ является одним из редких газов и основным компонентом эксимерного лазерного газа, необходимым для полупроводниковых литографических процессов.Неоновый газ обладает характеристикой не проходить химическое разложение или изменения при использовании в качестве источника лазерного света.Это означает, что после использования Neon может быть переработано и повторно используется после разделения и очищения для удаления примесей.
В ответ на это SK Hynix и TEMC успешно разработали технологию восстановления неоновых газов.Эти компании собирают неоновый газ в резервуарах для сбора, в противном случае неоновый газ будет выгружен в воздух через скрубберы после процесса фотолитографии.Затем, благодаря процессу очистки газа TEMC, неоновый газ избирательно разделяется и очищается.
Очищенный неоновый газ будет возвращен в SK Hynix для дальнейшего использования в процессах производства полупроводников.В настоящее время частота восстановления неонового составляет 72,7%.SK Hynix планирует непрерывно улучшать скорость очистки и увеличить коэффициент восстановления неоновой до 77%.
Ожидается, что применение технологии восстановления неонового газа на полупроводниковых заводах снизит закупки неонового газа примерно на 40 миллиардов корейцев в год.
Неоновый газ является одним из редких газов и основным компонентом эксимерного лазерного газа, необходимым для полупроводниковых литографических процессов.Неоновый газ обладает характеристикой не проходить химическое разложение или изменения при использовании в качестве источника лазерного света.Это означает, что после использования Neon может быть переработано и повторно используется после разделения и очищения для удаления примесей.
В ответ на это SK Hynix и TEMC успешно разработали технологию восстановления неоновых газов.Эти компании собирают неоновый газ в резервуарах для сбора, в противном случае неоновый газ будет выгружен в воздух через скрубберы после процесса фотолитографии.Затем, благодаря процессу очистки газа TEMC, неоновый газ избирательно разделяется и очищается.
Очищенный неоновый газ будет возвращен в SK Hynix для дальнейшего использования в процессах производства полупроводников.В настоящее время частота восстановления неонового составляет 72,7%.SK Hynix планирует непрерывно улучшать скорость очистки и увеличить коэффициент восстановления неоновой до 77%.
Ожидается, что применение технологии восстановления неонового газа на полупроводниковых заводах снизит закупки неонового газа примерно на 40 миллиардов корейцев в год.